近日，北京電控所屬北方華創(chuàng)（002371）集團(tuán)自主研發(fā)的兩款MOCVD（金屬有機(jī)物化學(xué)氣相沉積）外延設(shè)備（型號：Satur N800/Satur V700）順利通過客戶驗收，并獲得批量重復(fù)訂單。

　　據(jù)介紹，MOCVD設(shè)備是一種利用金屬有機(jī)化合物進(jìn)行金屬輸送的氣相外延生長設(shè)備，需要在原子尺度上實現(xiàn)復(fù)雜材料的納米精度控制、量子級界面控制，并需具備高真空環(huán)境和高精度溫控系統(tǒng)，以確保材料的純度和生長的穩(wěn)定性。憑借在硅外延設(shè)備領(lǐng)域的深厚積累，北方華創(chuàng)積極拓展化合物半導(dǎo)體外延設(shè)備研發(fā)，形成了GaN（氮化鎵）、GaAs（砷化鎵）、SiC（碳化硅）等化合物半導(dǎo)體材料外延設(shè)備的系列化產(chǎn)品。

　　其中，GaN MOCVD外延設(shè)備——Satur N800具備大面積均勻溫度場、大范圍穩(wěn)定可調(diào)氣流場，以及多片式（Batch）大產(chǎn)能和自動化配置，能夠滿足化合物半導(dǎo)體先進(jìn)器件對外延層組分、厚度和摻雜均勻性的高要求；GaAs MOCVD外延設(shè)備——Satur V700成功突破了氣流場、溫度場、副產(chǎn)物控制等關(guān)鍵技術(shù)，具備高均勻性、大產(chǎn)能、低成本等優(yōu)勢；SiC外延設(shè)備——MARS iCE115/120S，工藝調(diào)試簡單，維護(hù)操作便捷，上市后獲得市場廣泛認(rèn)可。

　　近年來，經(jīng)過持續(xù)的技術(shù)沉淀與創(chuàng)新突破，北方華創(chuàng)實現(xiàn)了硅薄膜外延設(shè)備領(lǐng)域4英寸到12英寸全覆蓋，產(chǎn)品包括8英寸及以下的單片及多片大產(chǎn)能硅外延設(shè)備、12英寸硅外延設(shè)備，取得了多項技術(shù)創(chuàng)新和產(chǎn)業(yè)化成果，累計銷售突破千腔，并先后榮獲“北京市科學(xué)技術(shù)進(jìn)步一等獎”等重量級榮譽(yù)。下一步，面向化合物半導(dǎo)體向高集成度、高效能和低能耗發(fā)展的趨勢，北方華創(chuàng)將以前瞻技術(shù)與創(chuàng)新服務(wù)為核心，提供全面外延解決方案，助力用戶實現(xiàn)技術(shù)突破與成本優(yōu)化，攜手產(chǎn)業(yè)鏈伙伴共創(chuàng)產(chǎn)業(yè)發(fā)展新未來。